2.3 等離子體的種類 (1) 低溫和高溫可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩種。在等離子體中，泰安等離子不同粒子的溫度實際上是不同的，它們所具有的溫度與動能有關。速度和質(zhì)量是相關的。存在于等離子體中的離子的溫度用Ti表示，電子的溫度用Te表示，原子等中性粒子的溫度用分子或原子團的Tn表示。如果Te遠高于Ti和Tn，即低壓氣體，此時氣體的壓力只有幾百帕斯卡。

2.4.1 原子團等自由基與物體表面的反應 這些自由基在等離子體中發(fā)揮著重要作用，泰安等離子表面處理機因為它們電性重、壽命長、離子含量比離子多。自由基主要出現(xiàn)在化學反應過程中能量轉(zhuǎn)移的“激活”中。被激發(fā)的自由基具有很高的能量，因此它們與表面分子結(jié)合時往往會形成新的自由基。新形成的自由基是一樣的，在不穩(wěn)定的高能??狀態(tài)下，容易發(fā)生分解反應，新的自由基與小分子同時產(chǎn)生。這個反應過程繼續(xù)并最終分解成簡單的分子，如水和二氧化碳。

另外，泰安等離子清洗設備當自由基與表面分子結(jié)合時，會釋放出大量的結(jié)合能，這是引發(fā)新的表面反應的驅(qū)動力，在被去除的材料表面引起化學反應。 2.4.2 電子與物體表面的相互作用 另一方面，電子對物體表面的影響, 能促進吸附在物體表面的氣體分子的分解和解吸。另一方面，大量的電子沖擊有利于觸發(fā)化學反應。電子的質(zhì)量非常小，移動速度比離子快得多。處理等離子體時，電子比離子更快地到達物體表面，使表面帶負電荷。這有助于引發(fā)進一步的反應。

現(xiàn)有等離子表面處理機中普遍使用的氣動調(diào)節(jié)/處理設備根據(jù)其結(jié)構(gòu)特點可分為復合式和一體式。帶報警輸出的二次減壓器：將帶報警輸出功能的壓力表設置在燃氣壓力控制閥上，泰安等離子實時監(jiān)測設備氣壓是否滿足使用要求。壓力過低會輸出報警信號，保證設備正常運行，保證工藝氣體的穩(wěn)定。真空電磁閥：連接腔體的每個氣路閥必須滿足真空密封的要求，因為低壓等離子設備清洗機運行時必須保持真空度和真空腔的密封性。 您需要選擇匹配的氣路。

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