通常，led支架plasma蝕刻使用 5% H2 + 95% Ar 的混合氣體通過等離子體清潔顆粒污染物和氧化物。鍍金芯片可以使用氧等離子體去除有機(jī)物，但銀芯片不能。適當(dāng)?shù)牡入x子清洗工藝在LED封裝中的應(yīng)用，大致可以分為以下幾個(gè)方面： 1）點(diǎn)膠前：基板上的污染物使銀膠呈球形，不會(huì)促進(jìn)芯片的粘附。如果針頭容易手工操作的刺損壞，可以使用等離子清洗。

可以降低鍵合工具頭的壓力（如果有污染，led支架plasma蝕刻鍵合頭需要穿透污染，需要更高的壓力），在某些情況下也可以降低和提高鍵合溫度。產(chǎn)量和成本降低。 3）LED封膠前：在LED環(huán)氧樹脂注膠過程中，污染物導(dǎo)致氣泡起泡率高，降低了產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。因此，避免形成空氣也是一個(gè)問題。在密封過程中會(huì)產(chǎn)生氣泡。問題。等離子清洗后，芯片和基板與膠體結(jié)合更緊密，顯著減少氣泡的形成，顯著提高散熱和光輸出。

從以上幾點(diǎn)可以看出，led支架plasma蝕刻設(shè)備材料的表面活化、氧化物和顆粒污染物的去除可以直接通過材料表面鍵合線的抗拉強(qiáng)度和穿透性能來體現(xiàn)。一些LED廠的產(chǎn)品封裝工藝在上述工藝前增加了等離子清洗，以測(cè)量鍵合線的抗拉強(qiáng)度，與沒有等離子清洗相比。大小也發(fā)生了變化，一些只增加了 12%，而另一些則增加了。根據(jù)部分廠家測(cè)得的數(shù)據(jù)，平均拉力沒有明顯增加，但最小粘合拉力明顯增加。這是為了保證產(chǎn)品的可靠性。這仍然非常有用。

圖3是LED廠商氧化后的LED批次等離子清洗前后對(duì)比圖，led支架plasma蝕刻設(shè)備圖4是LED廠商等離子清洗前后LED批次的鍵合線拉力對(duì)比圖。等離子清洗后，另一個(gè)檢測(cè)芯片和基板清洗效果的指標(biāo)是表面。部分產(chǎn)品的潤濕性能表明，未經(jīng)等離子體清洗的樣品的接觸角約為40°至68°；經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)機(jī)理等離子體清洗的樣品的接觸角約為10°至17°。通過物理反應(yīng)機(jī)制用等離子體清洗的樣品約為 20° 至 28°。清潔效果因制造商、產(chǎn)品和清潔工藝而異。

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改善的潤濕性表明在上述封裝工藝之前進(jìn)行等離子清洗是非常有益的。圖 5 比較了特定 LED 工件表面與等離子清洗前后滴在特定 LED 工件表面上并由接觸角檢測(cè)器檢測(cè)的 7 微升純水之間的接觸角。 5 結(jié)語 近年來，半導(dǎo)體光電子技術(shù)的進(jìn)步使LED的發(fā)光效率迅速提高，預(yù)示著一個(gè)新的光源時(shí)代已經(jīng)到來。

就發(fā)光二極管的技術(shù)潛力和發(fā)展趨勢(shì)而言，發(fā)光效率達(dá)到400lm/w以上，遠(yuǎn)超目前發(fā)光效率最高的高強(qiáng)度氣體放電燈，成為最亮的光源。世界。因此，業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，半導(dǎo)體照明將徹底改變照明行業(yè)的第四次。等離子清洗工藝的應(yīng)用，有助于保護(hù)環(huán)境，在LED封裝工藝中具有優(yōu)異的清洗均勻性、優(yōu)異的重現(xiàn)性、可控性強(qiáng)、3D處理能力、方向選擇處理等，是保證快速發(fā)展的行業(yè)。。

等離子表面處理失敗有多嚴(yán)重？在等離子處理時(shí)間的情況下，等離子處理后的聚合物表面的交聯(lián)、化學(xué)改性和蝕刻主要是由于等離子使聚合物表面分子的鍵斷裂形成大量的。的自由基。實(shí)驗(yàn)表明，隨著等離子體處理時(shí)間的增加和放電功率的增加，產(chǎn)生的自由基的強(qiáng)度增加，達(dá)到最大點(diǎn)，然后進(jìn)入動(dòng)態(tài)平衡。冷等離子體反應(yīng)最深。在某些條件下在聚合物表面上。等離子表面處理后，可能是由于材料本身的特性、處理后的二次污染或化學(xué)反應(yīng)。

其中，紫外線不僅被材料強(qiáng)烈吸收，而且有可能在表面產(chǎn)生自由基，形成的活性位點(diǎn)與等離子體中的氣體成分發(fā)生相互作用?；瘜W(xué)反應(yīng)導(dǎo)致一系列表面改性。中性粒子由于自身的自由基解離作用，會(huì)在材料表面引起各種化學(xué)反應(yīng)（脫氫、氧化、加成）。當(dāng)離子流與表面碰撞時(shí)，會(huì)發(fā)生表面的蝕刻和加熱，并發(fā)生類似于中性流的反應(yīng)。這三個(gè)作用相結(jié)合，形成了材料表面低溫等離子體改性的原理。等離子表面處理的這篇文章來自北京。請(qǐng)告訴我轉(zhuǎn)載的出處。

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效果是完成物體的超凈清洗、物體表面的活化、蝕刻、精加工、物體表面的等離子表面涂層。 (1) 對(duì)材料表面的蝕刻作用物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)分子、自由基等活性粒子對(duì)固體樣品表面產(chǎn)生影響，led支架plasma蝕刻設(shè)備消除了表面原有的污染物和雜質(zhì)。 ..它產(chǎn)生蝕刻效果，使樣品表面變粗糙，形成許多細(xì)小凹坑，并增加樣品的比表面積。提高固體表面的潤濕性。

并且，led支架plasma蝕刻設(shè)備形狀、寬度、高度、材質(zhì)、工藝類型，以及是否需要對(duì)材料進(jìn)行在線處理，直接影響并決定了整個(gè)等離子表面處理設(shè)備的解決方案。 PET噴塑前等離子等離子表面處理裝置又稱等離子、等離子噴涂裝置、等離子表面破碎機(jī), 等離子平面磨床等PET塑料預(yù)噴等離子表面處理設(shè)備可對(duì)多種材料的表面進(jìn)行清洗、再生、涂層等徹底清洗或改性，而不損傷物體表面。