由于接觸孔層在集成電路中起著關(guān)鍵作用，底漆和膩?zhàn)痈街Σ缓迷诮佑|孔等離子刻蝕工藝中，對(duì)接觸孔關(guān)鍵尺寸、尺寸均勻性、接觸孔側(cè)壁形狀的控制、刻蝕停止層的選擇性、金屬硅化物的消耗、接觸孔高度均勻性以及所有接觸孔的保證等工藝集成要求越來(lái)越嚴(yán)格，尤其是對(duì)成品率的提高要求越來(lái)越高。
一旦偏壓側(cè)壁厚度不足以保護(hù)頂部多晶硅，成品膩?zhàn)痈街Σ缓脝嵩诤罄m(xù)的硅鍺外延生長(zhǎng)中，將有很大機(jī)會(huì)在多晶硅頂部生長(zhǎng)硅鍺外延缺陷，導(dǎo)致器件失效；當(dāng)多晶硅的臨界尺寸小于硬掩模時(shí)，出現(xiàn)這種缺陷的幾率會(huì)小得多，有利于提高成品率。同樣，當(dāng)多晶硅刻蝕后出現(xiàn)嚴(yán)重的底部長(zhǎng)腳時(shí)，PSR刻蝕時(shí)底部偏壓側(cè)壁會(huì)被更多消耗，導(dǎo)致后續(xù)硅鍺外延時(shí)多晶硅底部硅鍺缺陷生長(zhǎng)。
為了提高和提高這些元件的組裝能力，底漆和膩?zhàn)痈街Σ缓妹總€(gè)人都在盡一切努力進(jìn)行處理。改進(jìn)實(shí)踐證明，在包裝過(guò)程中引入等離子處理機(jī)技術(shù)進(jìn)行表面處理，可以大大提高包裝的可靠性和成品率。 將裸片IC芯片在玻璃基片(LCD)的COG裝入工藝中，粘接后高溫硬化時(shí)，基體涂層成分會(huì)析出粘合填料表面。也有連接劑如Ag漿料溢出，污染粘結(jié)劑的粘結(jié)劑。若在熱壓連接之前，可通過(guò)等離子處理機(jī)清洗除去這些污染物，熱壓粘結(jié)效果明顯改善。
考慮到大氣壓等離子體的放電過(guò)程有其獨(dú)特性，成品膩?zhàn)痈街Σ缓脝嵯鄬?duì)于真空環(huán)境下產(chǎn)生的等離子體，其應(yīng)用也有不同之處，所以今天我們單獨(dú)討論大氣壓等離子體。 1.介質(zhì)阻擋放電的定義 介質(zhì)阻擋放電（Dielectric Barrier Discharge，DBD）是指在金屬電極之間插入絕緣介質(zhì)材料后的一種非平衡態(tài)氣體放電形式。
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2、靜態(tài)靜脈注射在輸液器末端的注射針使用過(guò)程中，會(huì)出現(xiàn)時(shí)針與注射器斷開的現(xiàn)象。一旦斷開，血液會(huì)隨著注射器流出。如果不及時(shí)正確處理，會(huì)對(duì)患者造成嚴(yán)重威脅。為保證此類事故的發(fā)生，有必要對(duì)針座進(jìn)行表面處理。銷孔非常小，很難用普通方法處理。等離子體是一種離子氣體，也可以有效地處理微孔。等離子體表面活化處理可以提高表面活性，增強(qiáng)它們與針管之間的結(jié)合強(qiáng)度，確保它們不會(huì)被分離。下圖顯示了在等離子清洗機(jī)中對(duì)針座表面的清洗。
真空等離子表面處理的特點(diǎn)：1.等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題。2.處理效率非常的高，整個(gè)工藝流程僅僅需要幾分鐘即可完成，完成后也即可進(jìn)入到下一步工藝程序。3.處理溫度低，不會(huì)傷害產(chǎn)品表面。4.因?yàn)槭窃谡婵罩羞M(jìn)行處理，保證清洗表面不被二次污染，所以處理全程無(wú)污染，與原有生產(chǎn)流水線搭配，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
金屬半導(dǎo)體工藝中常見(jiàn)的金屬雜質(zhì)有鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦、鈉、鉀、鋰等。這些雜質(zhì)的來(lái)源主要是:各種容器、管道、化學(xué)試劑、以及半導(dǎo)體晶片在加工過(guò)程中，形成金屬互連的同時(shí)，還會(huì)對(duì)各種金屬造成污染。去除這些雜質(zhì)通常是用化學(xué)藥品經(jīng)過(guò)各種試劑和化學(xué)試劑制備的清洗液與金屬離子反應(yīng)后，金屬離子形成絡(luò)合物，從晶圓表面流出。氧化物半導(dǎo)體晶圓在接觸氧和水時(shí)形成天然的氧化物層。
市面上常用的等離子清洗機(jī)有兩種，真空等離子清洗機(jī)和常壓等離子清洗機(jī)。這兩種型號(hào)的價(jià)格相差很大。相比較而言，常壓等離子清洗機(jī)的價(jià)格在市場(chǎng)上都比較便宜各家的價(jià)格相差不大。大氣等離子體清洗機(jī)由于其局限性（工藝不能做太多改變），價(jià)格比真空式便宜很多。下面我們來(lái)說(shuō)說(shuō)影響大氣等離子清洗機(jī)價(jià)格的首要因素：1噴嘴類型大氣壓價(jià)格的主要差別在于噴嘴的類型。市場(chǎng)上有兩種，一種是常壓直噴式，另一種是常壓轉(zhuǎn)噴式。
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