等離子處理工藝是干法工藝，層間附著力機(jī)理與濕法工藝相比有很多優(yōu)點(diǎn)，這是由等離子本身的特性決定的。整個(gè)高壓電離的電子中性等離子體具有高活性，不斷與材料表面原子發(fā)生反應(yīng)，使表面材料不斷受到氣態(tài)材料的激發(fā)而揮發(fā)，達(dá)到清洗的目的。 它是一種清潔、環(huán)保、高效的清洗方法，在印刷電路板制造過程中具有很強(qiáng)的實(shí)用性。。電路板等離子清洗機(jī)：印刷電路板，尤其是高密度互連板的制造，需要孔金屬化，因此層間的導(dǎo)電是通過金屬化孔。

1、提高復(fù)合材料的界面結(jié)合性能：可采用等離子清洗技術(shù)，納米壓痕儀測膜層間附著力有效避免化學(xué)溶劑對材料性能的破壞。在清潔材料表面時(shí)，會(huì)引入各種活性官能團(tuán)，以改善表面粗糙度和纖維表面。自由能有效地加強(qiáng)了樹脂和纖維之間的結(jié)合。纖維界面之間的結(jié)合提高了復(fù)合材料的整體性能。結(jié)果表明，在適當(dāng)條件下采用等離子法洗滌芳綸纖維顯著提高了聚芳醚酮酮樹脂的層間剪切強(qiáng)度及其界面性能。

通過控制工藝時(shí)間和刻蝕量，納米壓痕儀測膜層間附著力可以達(dá)到控制硅化物損傷的目的。等離子體器件的應(yīng)力越接近蝕刻，金屬硅化物損傷越嚴(yán)重，金屬硅化物的電阻越高。另一方面，由于側(cè)墻被完全或部分去除，降低了后續(xù)填充的縱橫比，提高了后續(xù)接觸通過停止層和層間介質(zhì)層的填充性能。。等離子器具中廢氣處理的應(yīng)用和技術(shù)在當(dāng)前的工業(yè)生產(chǎn)活動(dòng)中應(yīng)用更為廣泛，廢氣處理設(shè)備多種多樣，需要根據(jù)具體情況進(jìn)行廢氣處理。

等離子清洗機(jī) 清洗效果 前后對比圖3.在真空腔體里通過射頻電源，層間附著力機(jī)理在一定的壓力情況下起會(huì)產(chǎn)生等離子體，通過等離子底轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達(dá)到清洗的目的。污染物在真空的瞬時(shí)高溫下，高能離子粉碎便被真空帶走，紫外性輻射破壞污染物，由于等離子處理每秒鐘只能穿透幾納米，所以不應(yīng)該太厚。等離子清洗產(chǎn)生的離子的裝置是在密封容器，這也是卷對卷真空式等離子清洗機(jī)工作原理所在。。

納米壓痕儀測膜層間附著力

在這種情況下的等離子表面處理會(huì)產(chǎn)生以下效果：1.1灰化表面有機(jī)層 表面會(huì)受到化學(xué)轟擊在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出紫外輻射破壞污染物 因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 1.2氧化物去除 金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng) 這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。

灰化表面有機(jī)層污染物在真空和瞬時(shí)高溫下部分蒸發(fā)，污染物被高能離子粉碎并被真空帶走。紫外線輻射損傷污染物，由于等離子體處理每秒只能穿透幾納米，污染層不宜太厚。指紋也適用。2.氧化物去除這種處理包括使用氫氣或氫氣和氬氣的混合物。有時(shí)采用兩步工藝。*第一步用氧氣氧化外表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體處理。3.焊接通常，印刷電路板在焊接前要用化學(xué)藥品處理。

壓強(qiáng)的增加意味著等離子體密度的增加和粒子平均能量的降低。以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體密度增加可以顯著提高等離子體系統(tǒng)的清洗速度，而以物理轟擊為主的等離子體清洗系統(tǒng)效果不明顯。此外，壓力的變化可能導(dǎo)致等離子體清洗反應(yīng)機(jī)理的改變。例如，用于硅片蝕刻的CF4/O2等離子體在壓力較低時(shí)起主導(dǎo)作用，隨著壓力的增加，化學(xué)蝕刻不斷增強(qiáng)，逐漸起主導(dǎo)作用。

這些氣體在等離子體中反應(yīng)生成高活性自由基，其方程如下:這些自由基進(jìn)一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。壓力越高，越有利于自由基的生成。因此，要想優(yōu)先進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，就必須控制較高的壓力才能進(jìn)行反應(yīng)。

層間附著力機(jī)理

而兩種反應(yīng)機(jī)理對表面微觀形貌的影響有顯著差異，納米壓痕儀測膜層間附著力物理反應(yīng)可以使表面在分子水平上變得更“粗糙”，從而改變表面粘結(jié)的性質(zhì)。