而控制單元又分為兩個大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，江蘇真空等離子體處理機報價分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的。2）系統(tǒng)控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。 2.真空腔體真空腔體主要是分為兩種材質的：1）不銹鋼真空腔體。2）石英腔體。 3.真空泵真空泵分為兩種： 1）干泵。 2）油泵。
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等離子清洗機清洗分類 1、反應類型分類等離子與固體表面的反應可分為物理反應（離子沖擊）和化學反應。物理反應機理是活性顆粒與被清洗表面碰撞，江蘇真空等離子表面處理機原理污染物從表面分離出來，最后被真空泵吸走?；瘜W反應機理是各種活性粒子與污染物反應產(chǎn)生揮發(fā)物。物質和揮發(fā)性物質被真空泵吸走。
例如，江蘇真空等離子表面處理機原理慵懶氣體Ar2、N2 等被激起發(fā)生的等離子體首要用于物理清洗，憑借炮擊效果使資料外表清潔；而反響性氣體O2、H2 等被激起發(fā)生的等離子體則首要用于化學清洗，憑借活潑自由基與污染物（多為碳氫化合物）發(fā)生化學反響，發(fā)生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，從資料外表移除。 （3）等離子體清洗類型對清洗效果具有必定的影響。
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不聚合氣體包括反性氣體和非反性氣體，等離子發(fā)生器電源開關選取不同的氣體分類法對大分子表面效應的作用機制也不同。 等離子體表面處理儀電源開關等離子體誘導聚合是指在輝光放電條件下，活化顆粒(分子)誘導的聚合，表觀上發(fā)生自由基，然后與單體結合的聚合方式，如分子鏈發(fā)生交聯(lián)或側鏈上接枝，官能團置換和嵌段聚合等。采用等離子體誘導聚合作用形成高聚物，單體必須包含聚合能量的結構，如雙鍵、三鍵或環(huán)鍵等。
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