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因此，嘉興大氣等離子清洗機(jī)供應(yīng)商硅溝槽等離子清洗設(shè)備干法刻蝕后灰化工藝的選擇非常重要。灰化工藝不僅去除了殘留的光刻膠，而且獲得了純硅表面，用于硅鍺的外延生長。灰化工藝包括氧化灰化、低氫混合氣體（含氫4%的氮氫混合氣體）灰化、高氫混合氣體（含氫量>20%）灰化。低氫混合氣體灰化工藝可以有效減少光刻膠的殘留和刻蝕副產(chǎn)物，但外延生長缺陷是因為光刻膠和刻蝕副產(chǎn)物不是外延缺陷的主要原因，因此沒有明顯改善。
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使用等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面活化處理后，可以保證氣密性，減少漏電流，對粘接有效。那么它的主要特點是什么？ 1.發(fā)射的等離子流是中性且不帶電的，可用于各種聚合物、金屬、半導(dǎo)體、橡膠、PCB電路板和其他材料的表面處理。 2.用等離子清洗機(jī)處理后，可以去除諸如油脂等輔助添加劑之類的碳?xì)浠衔镂廴疚?。這有利于耦合，從而實現(xiàn)持續(xù)穩(wěn)定的性能和較長的維護(hù)周期。 3.適用于溫度低的產(chǎn)品和對溫度敏感的表面材料。四。不需要盒子。
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在電漿清洗機(jī)環(huán)境下用TMCS對西南樺木料表面進(jìn)行修飾，在不同的溫濕度條件下連續(xù)老化28天后木料表面仍然表現(xiàn)出了穩(wěn)定的疏水性能，老化后接觸角的降幅值僅在1.9°~3.7°之間。 在電漿清洗機(jī)環(huán)境下TMCS與西南樺木料表面發(fā)生了硅烷化反應(yīng)，木料表面引入了甲硅烷基，硅元素含量達(dá)到了22.82%。處理后的木料表面生成了一致的顆粒狀結(jié)構(gòu)，顯著提升了木料表面的疏水性和疏水穩(wěn)定性。。
在線式等離子體清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:上下料推料組織、上下料置取料渠道、上下料前進(jìn)系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料組織、反應(yīng)倉、設(shè)備主體結(jié)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等?！ 〉入x子體：等離子體是由離子、電子、自在激進(jìn)分子、光子以及中性粒子組成的正離子和電子密度大致持平的電離氣體, 整體呈電中性。
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