4. 由于等離子體清洗過程需要進行真空處理，等離子化學氣相沉積設備而且一般為在線或批量生產(chǎn)，因此在把等離子體清洗裝置引進生產(chǎn)線時，必須考慮到被清洗工件的貯存和移送的問題，特別是當被處理工件體積較大，數(shù)量較多更應考慮到這個問題。綜上所訴可知：等離子體清洗技術適用于對物體表面的油，水及微粒等輕度油污進行清洗，而且利于“速戰(zhàn)速決”的在線或批量清洗。。

射頻等離子體清洗后，等離子化學氣相沉積設備芯片與基板的將與膠體的結合更加緊密，形成的泡沫將大大減少，同時也將顯著提高散熱率和光發(fā)射率。⒉plasma等離子火焰處理機在橡塑行業(yè)產(chǎn)品上的作用機理我捫們在工業(yè)應用中發(fā)現(xiàn)一些橡膠塑料件在進行表面連接的時候會出現(xiàn)粘接困難的問題，這是因為聚丙烯、PTFE等橡膠塑料材料是沒有極性的，這些材料在未經(jīng)過表面處理的狀態(tài)下進行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至無法進行。

電漿清洗機外接離心泵，等離子化學氣相沉積設備運作時潔凈腔內(nèi)的電漿猛地沖洗被潔凈物表面上，短時間的潔凈可使有(機)污染物（完）全潔凈干凈，同時電漿被離心泵抽走，其潔凈程度達到分子級。plasma清潔儀不僅要兼有超潔凈功效外，還可以根據(jù)需要改變材料表面上的性能，等離子體作用于材料表面上，重組表面上分子的化學鍵，形成新的表面上特性。。

等離子體的“活性”成分包括離子、電子、反應基團、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子表面處理設備利用這些活性成分的特性對樣品表面進行處理，等離子化學氣相沉積設備示意圖達到清洗、改性、光刻膠灰化等目的。

等離子化學氣相沉積設備示意圖

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等離子化學氣相沉積設備

等離子清洗設備適用于燃料容器、防刮表層，等離子化學氣相沉積設備類似于聚四氟乙烯（PTFE）材料的涂層、防水涂層等。等離子清洗設備的表層涂層功效不僅保護了材料，而且在材料表層形成了1層新的材料，改進了后粘結和印刷工藝。。電漿清洗機應用下對負載型鑭系氧化物催化劑CO2氧化CH4制C2： 負載型鑭系氧化物催化劑具有良好的OCM反應活性。

工件外表的污染物，等離子化學氣相沉積設備如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、沖床油等，很快就會被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，然后抵達清潔外表，改善浸潤性和粘結性的意圖。低溫等離子處理僅觸及資料的外表，不會對資料主體的性質(zhì)產(chǎn)生影響。因為等離子體清洗是在高真空下進行的，所以等離子體中的各種活性離子的清閑程很長，他們的穿透和浸透力很強，能夠進行凌亂結構的處理，包括細管和盲孔。