等離子體是由正離子、負(fù)離子、自由電子等帶電粒子和不通電的中性粒子組成的電離汽體，如激發(fā)態(tài)分子及其氧自由基。由于其正負(fù)電荷一直相同，被稱為等離子體，是成分常見的固態(tài)、液體和汽體以外的第四態(tài)。
一些不聚合的無機(jī)汽體(Ar2.N2.H2、02等。)在高頻低電壓下被刺激，產(chǎn)生許多活性粒子，如離子、刺激態(tài)和氧自由基。通常在等離子體清潔機(jī)中，活化汽體可以劃分為兩大類：一種是稀有氣體的等離子體(如Ar2、N2等)；另一種是反應(yīng)性氣體的等離子體(如02、H2等)。
原子團(tuán)等氧自由基與物體表面的反應(yīng)：氧自由基是電中性的，主要表現(xiàn)在化學(xué)反應(yīng)過程中能量傳遞的激活作用上。通過與物體表面的分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，不斷產(chǎn)生新的氧自由基，釋放出大量的結(jié)合能，成為引起新表面反應(yīng)的驅(qū)動力，從而導(dǎo)致物體表面的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并被去除；電子與物體表面的作用：電子對物體表面的沖擊可以促進(jìn)吸咐在物體表面的氣體分子的分解或解吸，攜帶負(fù)電荷有利于引起化學(xué)反應(yīng)。離子與物體表面的作用：帶正電荷的陽離子有加速沖向帶負(fù)電荷表面的傾向，使物體表面獲得相當(dāng)大的動能，足以沖擊去除附著在表面的顆粒物。24536