等離子刻蝕過程中通過處理氣體的作用在等離子刻蝕過程中，表面改性塑料球通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料），等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況。

簡單等離子體作用下CO2氧化CH4的轉(zhuǎn)化反應(yīng)是一個自由基過程，表面改性塑料球目標(biāo)產(chǎn)物的選擇性低。催化劑在80℃以下無催化活性。在等離子體中引入催化劑，吸附反應(yīng)物和自由基，通過吸附參與表面反應(yīng)，影響反應(yīng)物的轉(zhuǎn)化率和產(chǎn)物收率。在催化過程中引入等離子體，等離子體不僅為催化劑的活化提供必要的能量，而且對反應(yīng)物的吸附、表面反應(yīng)和產(chǎn)物的分解都有直接和間接的影響。根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，等離子體與催化劑之間的相互作用表現(xiàn)在以下幾個方面。

.材料大致可分為兩種：金屬和非金屬。金屬清洗的目的是去除表面的氧化物和有機(jī)物。清洗非金屬主要是去除表面的有機(jī)污染物。根據(jù)反應(yīng)機(jī)理，表面改性塑料球有兩種。一種主要是氫氣、氧氣、四氟碳等反應(yīng)性氣體（化學(xué)作用），另一種主要是氬氣、氦氣和氮?dú)獾确欠磻?yīng)性氣體（物理作用）。將洗滌后的材料放入反應(yīng)室時，脫氣產(chǎn)生的等離子體中的活性粒子與材料表面發(fā)生反應(yīng)。反應(yīng)性氣體主要基于化學(xué)反應(yīng)。

采用Ar和H2的混合氣體進(jìn)行幾十秒的在線式等離子清洗，清遠(yuǎn)等離子體表面改性設(shè)備可以去除銅引線框架上的氧化物和有機(jī)物，能夠達(dá)到改善表面性質(zhì)，提高焊接、封裝和粘結(jié)可靠性的目的。4、塑料球柵陣列封裝前的在線式等離子清洗塑料球柵陣列封裝技術(shù)又稱BGA，是球形焊點(diǎn)按陣列分布的封裝形式，適用于引腳數(shù)越來越多和引線間距越來越小的封裝工藝，被廣泛應(yīng)用于封裝領(lǐng)域，但是BGA焊接后焊點(diǎn)的質(zhì)量是BGA封裝器件失效的主要原因。

表面改性塑料球

為了改善這一狀況，除了采用CCGA結(jié)構(gòu)外，還采用了其他陶瓷基板--MDASH；&mdash；掛接陶瓷基片。封裝工藝：晶圓凸點(diǎn)和mdash的制作；晶圓切割（芯片倒裝和回流焊）欠填充導(dǎo)熱脂，密封焊料分布+蓋桶套組裝焊料球-回流焊套標(biāo)記+單獨(dú)檢查桶包裝3.在線等離子清洗設(shè)備引線連接TBGA封裝工藝流程：①TBGA載體TBGA通常由聚酰亞胺材料制成。

②包裝工藝過程 圓片凸點(diǎn)的制備：呻圓片切割→呻芯片倒裝及回流焊→底部填充呻導(dǎo)熱脂、密封焊料的分配+封蓋斗裝配焊料球→回流焊斗打標(biāo)+分離呻→檢查→測試包裝 3、引線連接TBGA的封裝工藝過程： ①TBGA載帶 TBGA通常用聚酰亞胺材料制成載帶。制造時，先將銅片兩面覆銅，再鍍鎳、鍍金，再沖孔、通孔金屬化，制成圖形。

Plasma等離子設(shè)備清洗技術(shù)是一個朝陽行業(yè)，它融入了等離子體物理、等離子體有(機(jī))化學(xué)以及氣固相頁的化學(xué)變化，這是一條新的、典型的技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展鏈，它必須超越化工廠、原材料和電機(jī)等各行各業(yè)，因此將具有趣味性，同時也充滿了機(jī)會，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料和光電材料在未來的快速發(fā)展趨勢中的需求可能越來越大。。

乙烯的摩爾分?jǐn)?shù)從72.3%下降到22.1%，C3產(chǎn)物的摩爾分?jǐn)?shù)顯著增加。因此，在等離子表面處理裝置與催化劑的共活化CO2氧化物CH4C2H4反應(yīng)中，只要在催化劑上負(fù)載微量的PD，就可以獲得更經(jīng)濟(jì)的增值C2H4產(chǎn)品。等離子表面處理設(shè)備和催化劑聯(lián)合作用下CH2CO2氧化成C2烴的研究表明，LA203/Y-AL203可以顯著提高C2烴產(chǎn)物的選擇性。

表面改性塑料球

隨著汽車電子、可穿戴設(shè)備等新興消費(fèi)電子產(chǎn)品的快速發(fā)展，表面改性塑料球中國的柔性線路板市場帶來了新的增長空間，市場需求不斷增長。數(shù)據(jù)顯示，2019年，中國柔性線路板市場需求增至10.8萬平方米。此外，中國柔性線路板產(chǎn)量也繼續(xù)提高，2019年增至11056.6萬平方米。近年來，中國柔性線路板市場總體保持增長態(tài)勢，2019年達(dá)到1303億元。目前，中國的柔性線路板消費(fèi)主要集中在消費(fèi)電子、汽車電子、網(wǎng)絡(luò)通信等領(lǐng)域。