聚合物表面的重新組合:等離子蝕刻機清洗過程中使用的惰性氣體會破壞聚合物表面的離子鍵,pp底漆重涂附著力導(dǎo)致聚合物表面游離官能團。聚合物表面的自由官能團重新組合形成原來的聚合物結(jié)構(gòu),也可以與相鄰?fù)痪酆衔镦溕系淖杂晒倌軋F結(jié)合,或與相鄰不同聚合物鏈上的自由官能團結(jié)合。聚合物的表面復(fù)合可以提高表面硬度和表面抗力。2、高分子聚合物材料表面清洗:等離子體以高能電子和離子轟擊表面,機械清除污垢層。

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P是占比成效,pp底漆重涂附著力I是積分成效,D是求微分成效。 PID不光具有快速快速的占比成效,而且還具有積分成效的差錯清除及其求微分成效的高級調(diào)整作用。 當(dāng)出現(xiàn)差錯階躍時,導(dǎo)函數(shù)將馬上起成效以抑止這類差錯彈跳; 該占比還具有清除差錯和削減差錯力度的成效。 由于占比效用是長久且占主導(dǎo)性的操控規(guī)律性,因此可以使內(nèi)腔的真空度更為平穩(wěn); 積分成效漸漸擺脫了差錯。

傳統(tǒng)的清洗通常先用洗調(diào)劑刷洗,環(huán)氧樹脂改善PP底漆附著力然后用酸堿液等溶劑結(jié)合超聲波進行清洗,工序復(fù)雜繁瑣,耗時、增加人力成本且造成二次污染。低溫等離子清洗機(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體對氣體施加足夠的能量使之離化,等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

例如,pp底漆重涂附著力氧等離子體氧化性高,可氧化光刻膠產(chǎn)生氣體,從而達到清洗效果;腐蝕氣體的等離子體具有良好的各向異性,可以滿足刻蝕的需要。等離子體處理會發(fā)出輝光,故稱輝光放電處理。輝光放電時,電子和正離子在放電極點電場的作用下分別向陽極和陰極移動,在極點附近堆積形成空間電荷區(qū)。由于正離子的漂移速度比電子慢得多,正離子空間電荷區(qū)的電荷密度遠大于電子空間電荷區(qū),這使得整個極間電壓幾乎全部集中在靠近陰極的狹窄區(qū)域。

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在方程(1-6)中,VE(R)=-E & PHI;(R)是電子的勢能。等離子體表面處理 對于等離子體,平均熱動能遠高于平均勢能 KT。E "E & PHI ;. 展開泰勒級數(shù)中的方程 (1-6) 并采取二次近似來執(zhí)行以下操作: NE (R) = NEO [1 + E & PHI; (R) / KTE] (1- 7 ) 式(1-7) 代入式 代入式(1-5),可得下式。代入泊松方程,可得下式。

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