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(3)由于在真空室內(nèi)的電極和接地裝置之間施加了高頻電壓，劃格子檢查油漆附著力氣體被分解并通過(guò)輝光放電產(chǎn)生電離和等離子體。待處理的工件完全包裹在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體中，開始清洗。通常，清潔過(guò)程持續(xù)幾十秒到幾分鐘。 (4)清洗后，切斷高頻電壓，排出氣體和汽化的污垢，同時(shí)將氣體吹入真空室，使氣壓升至1個(gè)大氣壓。。

等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子體清洗蝕刻產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封的容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，檢查油漆附著力的裝置用真空泵實(shí)現(xiàn)一定程度的真空，隨著氣體越來(lái)越稀薄，分子之間的距離和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來(lái)越長(zhǎng)。在磁場(chǎng)作用下，碰撞形成等離子體，同時(shí)會(huì)產(chǎn)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)，轟擊被處理物體表面，從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果。

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　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)分子和原子、基態(tài)分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實(shí)內(nèi)部具有很強(qiáng)的電特性、化學(xué)特性和熱效應(yīng)。

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2. 取決于等離子體的狀態(tài)： (1) 平衡等離子體：具有高氣壓且電子溫度和氣體溫度大致相等的等離子體。常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應(yīng)等離子體。 (2)非平衡等離子體：在低壓或常壓下，電子溫度遠(yuǎn)高于氣體溫度。低壓直流輝光放電、高頻誘導(dǎo)輝光放電、大氣壓下DBD介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的冷等離子體等。。

300年sccm流動(dòng)。

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