+ O2 & RARR; O + O * + AR (1) AR * + O & RARR; O + AR (2) 高能電子與氧分子碰撞并分解形成激發(fā)氧原子 E + O2 & RARR O + O * + E (3) E + O2 & RARR; O + O + E (4) 被污染的潤(rùn)滑油和硬脂酸的主要成分是碳?xì)浠衔?，?rùn)滑脂附著力受哪些影響被活性氧氧化生成二氧化碳和水。

等離子體對(duì)潤(rùn)滑脂結(jié)垢的影響與潤(rùn)滑脂結(jié)垢的燃燒反應(yīng)相似。但不同的是在低溫下發(fā)生的“燃燒”。在氧等離子體中氧自由基、激發(fā)態(tài)氧分子、電子和紫外線的共同作用下，潤(rùn)滑脂附著力強(qiáng)油分子被氧化為水分子和二氧化碳分子并從表面去除。由此可見(jiàn)，利用等離子體去除石油污染的過(guò)程是一個(gè)大分子逐漸降解的過(guò)程，形成水、二氧化碳等小分子，這些小分子被排除在氣態(tài)之外。等離子體清洗的另一個(gè)特點(diǎn)是，清洗后的物體已徹底干燥。

PTFE材料在耐高溫、耐腐蝕、不粘連、自潤(rùn)滑性能、優(yōu)異的介電性能、低摩擦系數(shù)等各方面都表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，潤(rùn)滑脂附著力受哪些影響而未經(jīng)處理的PTFE材料表面活性低，一方面是粘結(jié)。金屬之間的相互作用非常困難，產(chǎn)品不能滿足質(zhì)量要求。為解決這一技術(shù)難題，需要在不影響另一面性能的情況下，嘗試改變PTFE（聚四氟乙烯）的表面性能和金屬鍵。工業(yè)上用硫酸鈉溶液處理可在一定程度上提高粘合效果??，但改變了原有聚四氟乙烯的性能。

由于熔合損失多發(fā)生在摩擦副的初期磨合過(guò)程中，潤(rùn)滑脂附著力強(qiáng)而且往往破壞匹配件的走行面，使整個(gè)機(jī)組無(wú)法正常運(yùn)行。因此，在所有的損失模式中，其帶來(lái)的損害結(jié)果尤為突出。在等離子體等離子體發(fā)生器的機(jī)械運(yùn)動(dòng)中，有兩種摩擦副因熔合而丟失的情況：1.在有潤(rùn)滑油的情況下，缸套和活塞環(huán)在有潤(rùn)滑油的情況下運(yùn)轉(zhuǎn)。

潤(rùn)滑脂附著力強(qiáng)

2.不直接供油和潤(rùn)滑的往復(fù)式循環(huán)壓縮機(jī)的活塞桿不僅需要傳遞動(dòng)力，而且要保持密封并在不直接供油的情況下運(yùn)行，因此很容易熔合。損失。。

真空等離子清洗設(shè)備的真空泵選型不容忽視，但今天我們就為大家介紹一下真空清洗機(jī)中適合選型的油泵種類及其特點(diǎn)。清洗設(shè)備中常用的真空泵有兩種：油泵和干式真空泵。油式真空泵是用于真空等離子清洗設(shè)備的油封、潤(rùn)滑和冷卻的真空泵的總稱。旋片式真空泵是一種油式真空泵，廣泛應(yīng)用于真空等離子清洗設(shè)備中。

影響等離子體清洗效果的因素有很多，包括化學(xué)藥劑的選擇、工藝參數(shù)、功率、時(shí)間、部件放置和電極配置。不同的清洗目的所需要的設(shè)備結(jié)構(gòu)，電極連接的品種不同，反應(yīng)氣體也不同，其工藝原理也有很大的差別，有大量的物理反應(yīng)，有大量的化學(xué)反應(yīng)，兩者都有大量的作用，而物理化學(xué)反應(yīng)取決于等離子體源的有效性、等離子體體系的組合以及等離子體過(guò)程的操作參數(shù)。

  用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，它的方向性不強(qiáng)，因此它可以深入物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù)，所以不必過(guò)多考慮被清洗物體形狀的影響，而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。

潤(rùn)滑脂附著力強(qiáng)

所以設(shè)計(jì)等離子清洗機(jī)的腔體首先必須是鋁，哪種潤(rùn)滑脂附著力強(qiáng)而不是不銹鋼；放置晶圓的支架滑動(dòng)部分應(yīng)盡量采用不易產(chǎn)生灰塵和被等離子腐蝕的材料；電極和支架易于拆卸和維護(hù)。1-2：等離子清洗機(jī)反應(yīng)室內(nèi)的電極間距、層數(shù)和氣路分布對(duì)晶圓加工的均勻性有很大影響，這些指標(biāo)需要通過(guò)不斷的實(shí)驗(yàn)進(jìn)行優(yōu)化。1-3：等離子清洗晶圓的過(guò)程中，會(huì)有一定的熱量積累。需要將電極板的溫度保持在一定范圍內(nèi)，因此等離子清洗機(jī)的電極通常采用水冷。