盡管這些氣體通常相對活潑、有毒且具有腐蝕性，yamato等離子體刻蝕但在使用這些特殊氣體時應格外小心，因為它們是某些集成電路制造工藝步驟的重要材料來源。特殊氣體通常使用單獨的壓力鋼瓶。它被輸送到半導體。晶圓廠通常存儲在單獨的存儲室中，氣體通過一系列控制、穩(wěn)壓、切換和清潔系統(tǒng)連接到工藝室，例如等離子蝕刻室。該儲藏室還應配備用于氣體純度測試的過濾系統(tǒng)和相應的安全裝置，例如泄漏報警器和火災報警器。
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