等離子表面處理機(jī)的超低溫深反應(yīng)離子刻蝕工藝采用平面大縱橫比結(jié)構(gòu)圖案，極耳等離子體蝕刻機(jī)器使用-100℃以下連續(xù)O2等離子刻蝕和SF6等離子刻蝕產(chǎn)生的副產(chǎn)物保護(hù)層。 .空間。低溫刻蝕工藝的主要機(jī)理是獨(dú)立控制硅溝槽底部和溝槽側(cè)壁的刻蝕反應(yīng)，改變陰極電壓以降低硅片基板的溫度以進(jìn)行更高的硅刻蝕。那是。可以獲得更高的硅蝕刻速率。高硅光刻蝕選擇性。

低溫等離子處理光纖裝置對(duì)PBO光纖表面和未處理PBO光纖表面的影響是光滑的。 PBO光纖的表面是由于等離子處理過的PBO光纖表面的蝕刻作用，極耳等離子體蝕刻增加了表面粗糙度。這也證實(shí)了處理后的PBO纖維的比表面積增加。提高 PBO 纖維的潤濕性。用大氣低溫等離子體處理PBO纖維提高了PBO纖維的潤濕性。低溫等離子處理后的PBO 纖維吸力增加，接觸角減小，表面被蝕刻，粗糙度增加，表面積增加，纖維潤濕速度加快。

使用等離子發(fā)生器進(jìn)行表面處理，極耳等離子體蝕刻機(jī)器提高了原材料表層的潤濕性，從而改善了原材料的涂層等性能，提高了原材料的附著力和內(nèi)聚力，并且（高效）可去除.增強(qiáng)有機(jī)（有機(jī)）污染物和原料表層的親水性。等離子發(fā)生器用塑料玩具的表面處理：可用于表面層改性、粘合強(qiáng)度、涂層和印刷。塑料玩具鐘由于面漆是化學(xué)惰性的，如果沒有特殊的表面處理，很難用通用粘合劑粘合和印刷。等離子發(fā)生器主要用于塑料玩具表層的蝕刻（活化）、接枝、聚合等。

但在塑料薄膜增強(qiáng)軟單板的制造過程中，極耳等離子體蝕刻機(jī)器界面粘合性能較差，易卷曲變形，受高溫?zé)釅旱扔绊?，限制了工業(yè)化生產(chǎn)和推廣。表面等離子體處理設(shè)備 等離子體是由基態(tài)和激發(fā)態(tài)的電子、離子和中性粒子組成的氣體混合物，在放電過程中產(chǎn)生大量離子，使材料表面發(fā)生物理和化學(xué)表面化。合格。它的優(yōu)點(diǎn)是清潔高效。用于等離子體重整的低溫表面等離子體處理設(shè)備可用于通過激發(fā)原子和分子、自由基和離子以及等離子體。

極耳等離子體蝕刻

常壓等離子設(shè)備技術(shù)參數(shù)如下（）： 輸入電源：AC220V，PE.50HZ（±20） 高壓線長度：>170CM（可定制） 噴槍口徑：20-50MM 工作環(huán)境溫度： <42℃相對(duì)溫度≤40℃RH最大功率：≤800W（可調(diào)）輸入氣源壓力：≥0.4MPA或≥0.3MPA頻率：25KHZ輸出工作壓力：15-20KPA（可調(diào)）總主機(jī)：約12KG控制方式：內(nèi)部模擬控制（可與現(xiàn)有自動(dòng)化系統(tǒng)集成啟動(dòng)短路信號(hào)） 主機(jī)尺寸：130MM（長）*240MM（寬）*300MM（高）噴嘴加工寬度：直噴類型：2MM、4MM、10MM；旋轉(zhuǎn)類型：30、50、80MM 加工高度：4-15MM 火焰溫度：40℃-60℃ 金屬等材料可以增加表面能。

..整個(gè)清洗過程的成本可以通過使用昂貴的有機(jī)溶劑來降低，但是清洗力還是很高的，只需要幾分鐘就可以完成清洗。第三，適用范圍廣也是常壓等離子清洗設(shè)備的一大優(yōu)勢。您可以有效地清洗任何原材料，無論是金屬、半導(dǎo)體還是氧化物，并為對(duì)象設(shè)置清洗操作。部分或全部清潔也非常方便。此外，還可以提高被清洗物的表面性能，例如提高表面的潤濕性和附著力。大氣壓等離子表面處理設(shè)備具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)，在各個(gè)領(lǐng)域中脫穎而出。

表面清潔可以定義為去除吸附在表面上的非必要外來物質(zhì)的清潔過程，這些外來物質(zhì)會(huì)對(duì)產(chǎn)品的工藝流程和性能產(chǎn)生不利影響。清潔對(duì)于先進(jìn)制造至關(guān)重要工藝步驟。工業(yè)清洗從工件表面去除多余的材料，最大限度地減少成本和環(huán)境影響。清潔目標(biāo)包括提高涂層對(duì)表面的附著力以及提高涂漆和印刷產(chǎn)品的質(zhì)量。

改善表面潤濕性和薄膜附著力等表面功能在許多新工藝中發(fā)揮著重要作用。等離子清洗后的材料表面無油污，無需再加工，提高了整個(gè)工藝的加工效率。操作員可以避免有害溶劑的損壞。因此，它被完全（完全）洗滌。清潔物品不需要過多考慮形狀，也可以處理多種材料。特別適用于不耐高溫且不含溶劑的材料。因此，等離子清洗技術(shù)受到了極大的關(guān)注。等離子清洗機(jī)應(yīng)用于印刷/包裝、汽車制造、生物醫(yī)藥、精密電子設(shè)備等行業(yè)，包括醫(yī)療器械領(lǐng)域。

極耳等離子體蝕刻

隨著電壓的增加和電源頻率的增加，極耳等離子體蝕刻處理強(qiáng)度變?yōu)椋禾幚硇Ч茫驗(yàn)樗?，但是如果電源頻率太高或電極間隙太寬，電極之間會(huì)發(fā)生過多的離子碰撞，會(huì)產(chǎn)生不必要的能量。如果電極間距過小，會(huì)導(dǎo)致感應(yīng)損耗和能量損耗。當(dāng)加工溫度高時(shí)，表面特性迅速變化。處理時(shí)間越長，極性基團(tuán)越多，但如果處理時(shí)間過長，表面可能會(huì)產(chǎn)生分解產(chǎn)物。冷等離子體裝置 [5] 在密閉容器中安裝兩個(gè)電極以產(chǎn)生電場，并使用真空泵實(shí)現(xiàn)一定程度的真空。

其次，極耳等離子體蝕刻機(jī)器高濃度的環(huán)氧乙烷與空氣混合具有爆炸性，通常使用12%的環(huán)氧乙烷和88%的氟氯烴的混合物，但氯氟烴對(duì)地球臭氧層的破壞很嚴(yán)重，因此會(huì)造成嚴(yán)重的破壞。上述問題的存在限制了環(huán)氧乙烷滅菌的應(yīng)用，同時(shí)也促進(jìn)了其他更先進(jìn)的醫(yī)用滅菌技術(shù)的研究和推廣?；谝陨显?，我們正在進(jìn)行低溫等離子滅菌技術(shù)的研究。低溫等離子滅菌技術(shù)的主要特點(diǎn)如下。