而以往電暈清洗設(shè)備的表面處理難以滿足該加工工藝的要求。在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械航空航天、高分子、污染防治、測(cè)量等行業(yè)，電暈放電處理技術(shù)電暈清洗設(shè)備和清洗技術(shù)在產(chǎn)品升級(jí)過程中也發(fā)揮著關(guān)鍵作用，如光學(xué)元件涂層、耐磨層、復(fù)合材料中間層、織物或隱式透鏡表面處理、微傳感器智能制造、超微機(jī)械加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的減摩層等，在復(fù)合材料成型過程中使用脫模劑，確保固化成型后能與模具有效分離。

首先是玻璃光學(xué)鏡片電暈、樹脂鏡片電暈、UV/IR鏡片活化電暈采用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，電暈放電處理技術(shù)在一定的真空負(fù)壓下，通過電能將氣體轉(zhuǎn)化為高活性氣體電暈，可以輕柔地沖洗固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的變化，從而對(duì)樣品表面的有機(jī)污染物進(jìn)行超清潔。在極短的時(shí)間內(nèi)，通過外置真空泵將有機(jī)污染物完全抽走，其清潔能力可達(dá)分子級(jí)。在一定條件下，樣品的表面特性也可以改變。

電暈清洗可以有效去除結(jié)合區(qū)表面的污染物，電暈放電處理技術(shù)增加粗糙度，顯著提高引線的結(jié)合拉力，大大提高封裝設(shè)備的可靠性。（3）電暈倒裝封裝：隨著倒裝封裝技術(shù)的出現(xiàn)，電暈成為提高其產(chǎn)量的必要條件。

畢竟化學(xué)物質(zhì)可以與金屬板中的材料發(fā)生反應(yīng)，電暈放電處理惡臭氣體的優(yōu)缺點(diǎn)非?？焖俜奖?，但也有一個(gè)很大的問題：液體的腐蝕是全方位的，很難控制。打個(gè)形象的比方，能不能用板子擋住洪水？答案是否定的，因?yàn)樗畷?huì)繞過這塊板。然而，用化學(xué)物質(zhì)腐蝕金屬表面有許多缺點(diǎn)。下圖很好地說明了這個(gè)問題?；瘜W(xué)液體繞過覆蓋晶圓表面的光刻膠，腐蝕我們不想腐蝕的部分。如果要求電路非常薄，那么這種多余的腐蝕肯定會(huì)影響電路的性能。

電暈放電處理技術(shù)

聚合物中大分子的化學(xué)鍵被分離成小分子并汽化，通過真空泵排出。同時(shí)，經(jīng)過氬電暈清洗后，可以改變材料表面的微觀形貌，使材料在分子范圍內(nèi)變得更加&ldquo；粗糙&rdquo；它能大大提高表面活性，改善表面的粘附性能。氬電暈的優(yōu)點(diǎn)是在清潔材料表面時(shí)不會(huì)留下任何氧化物。缺點(diǎn)是可能會(huì)發(fā)生過度腐蝕或污染顆粒在其他不良區(qū)域的再積累，但這些缺點(diǎn)可以通過微調(diào)工藝參數(shù)來控制。

模具電暈；電暈是一種新型清洗機(jī)，利用電暈電弧清除模具表面的污垢，從而達(dá)到清洗模具的目的。在使用過程中，由于橡膠、配合劑、硫化脫模劑的綜合作用，造成模具污染，需要定期清洗結(jié)垢模具。化學(xué)清洗法易腐蝕模具表面，造成環(huán)境污染，機(jī)械清洗法為接觸式清洗，易損傷模具表面，產(chǎn)生殘余應(yīng)力。新型清潔技術(shù)干冰清潔和激光清潔雖然克服了傳統(tǒng)清潔方式的缺點(diǎn)，但也存在缺陷。

通過化學(xué)和物理反應(yīng)，可以在納米水平上獲得所需的表面親水或疏水效應(yīng)。。常壓電暈處理手機(jī)玻璃面板；手機(jī)玻璃面板化學(xué)增韌前的清洗過程非常復(fù)雜。針電極預(yù)電離產(chǎn)生的非平衡Ar/O2大氣壓電暈射流清洗工藝簡(jiǎn)單方便，接觸角儀可測(cè)量潤(rùn)滑油和硬脂酸污染玻璃板與水的接觸角。電暈射流清洗1～2min，玻璃面板對(duì)水的接觸角顯著減小。掃描電鏡觀察也驗(yàn)證了清洗效果。近年來，手機(jī)多采用玻璃作為面板。

介質(zhì)阻擋放電可以在常溫常壓下穩(wěn)定進(jìn)行，產(chǎn)生連續(xù)的電暈源，放電設(shè)備成本合理，保證了工業(yè)應(yīng)用中的成本和連續(xù)性。其次，介質(zhì)阻擋放電可以通過反應(yīng)氣體（氧氣等）在活性復(fù)合材料表面生成顆粒，表面可以提高足夠的結(jié)合強(qiáng)度。

電暈放電處理惡臭氣體的優(yōu)缺點(diǎn)

建立了羥基、羧基等自由基基團(tuán)，電暈放電處理惡臭氣體的優(yōu)缺點(diǎn)可促進(jìn)各種涂料材料的附著力，并在附著力和涂料應(yīng)用中得到優(yōu)化。在相同的效果下，利用電暈可以獲得極薄的高張力涂層表面，而不需要其他機(jī)械和化學(xué)處理來增加附著力等任何強(qiáng)作用成分。真空電暈由真空室、高頻電暈電源、真空泵系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)組成。

其次，電暈放電處理惡臭氣體的優(yōu)缺點(diǎn)在電暈表面改性過程中，材料表面會(huì)發(fā)生變化，材料表面粗糙，類似風(fēng)化、雕刻侵蝕的痕跡，材料表面凹凸不平，會(huì)增加材料的粗糙度。此外，還會(huì)引起材料表面的交聯(lián)反應(yīng)。所謂交聯(lián)，主要是指自由基重新結(jié)合后，表面會(huì)形成網(wǎng)狀交聯(lián)層。Zui后，在血漿表面修飾時(shí)將引入極性基因組織。放電控制作用于材料表面活性粒子和自由基的結(jié)合，從而引入活性非常強(qiáng)的極性基因。