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微波等離子體中的反應(yīng)顆粒數(shù)遠大于RF等離子體表面處理儀中的反應(yīng)等離子體數(shù)，附著力試驗有什么方法會使反應(yīng)速度更快，反應(yīng)時間更短。其次，等離子的自然特性之一是能夠直接暴露在等離子體上產(chǎn)生自偏壓。這種自偏壓取決于等離子的激勵頻率。例如，頻率為2.45GHz的微波通常只需要5.15伏。同樣，RF等離子體表面處理儀自偏壓需要 伏。

低溫等離子表面處理機采用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，附著力試驗有什么方法在恒定真空負壓下，通過電能將氣體轉(zhuǎn)化為高活性氣體等離子體。氣體等離子體溫和地清潔固體樣品的表面并改變其分子結(jié)構(gòu)。實現(xiàn)了對樣品表面有機污染物的超清洗，有機污染物通過真空泵在極短的時間內(nèi)排出，清洗能力可達分子水平。在某些條件下，樣品的表面性質(zhì)也會發(fā)生變化。

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在等離子體化學反應(yīng)過程中，等離子體轉(zhuǎn)移化學能過程中的能量轉(zhuǎn)移大致如下：（1）電場+電子→高能電子（2）高能電子+分子（或原子）→（受激原子、受激基團、游離基團）活性基團（3）活性基團+分子（原子）→產(chǎn)物+熱（4）活性基團+活性基團→產(chǎn)物+熱量從上述過程可以看出，電子首先從電場中獲得能量，并通過激發(fā)或電離將能量傳遞給分子或原子。得到能量的分子或原子被激發(fā)，一些分子同時被電離，從而成為活性基團。

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