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隨著壓力的增大，副產(chǎn)物不斷堆積使選擇比不斷下降，蝕刻終止。在5Pa的條件下，有沒(méi)有氮化硅硬掩膜環(huán)境的蝕刻圖案基本一致，但在10Pa下，沒(méi)有氮化硅硬掩膜的情況下，在圖形密度較大區(qū)域，產(chǎn)生的副產(chǎn)物或聚合物較多，蝕刻率急劇下降，從而得到了不同圖形環(huán)境蝕刻的深度之間存在較大差異;當(dāng)壓力為20Pa時(shí)，無(wú)論圖形周?chē)芗拳h(huán)境如何，蝕刻都會(huì)終止，這是因?yàn)榫酆衔锏牧刻?，以至于覆蓋了全部圖形，蝕刻無(wú)法進(jìn)行。
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