失效時(shí)間與退化率為逆關(guān)系，陜西等離子處理設(shè)備定制因此是隨電場強(qiáng)度指數(shù)減小的，具體表達(dá)形式為TF=A0exp(-ϒEox)exp(Ea/kBT)(7-10)其中，ϒ為電場加速因子；Eox為氧化物電介質(zhì)層內(nèi)電場強(qiáng)度；Ea為激活能；kB為玻爾茲曼常數(shù)；A0為與材料和工藝相關(guān)的系數(shù)，不同的器件其值不一樣，A0的性質(zhì)使TF成為一個(gè)分布，—般為威布爾分布。1/E模型又稱為陽極空穴注入模型。
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