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深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

氧清洗

如果設備一直處于抽真空狀態(tài),紫外臭氧清洗機增加親水性真空室內(nèi)的真空度會不斷增加,分子之間的距離會增加,分子間的作用力會減小,使用等離子的清洗設備的等離子發(fā)生器產(chǎn)生的高壓交流電場它將激發(fā) Ar、H2、N2、O2 和 CF4 等工藝氣體,并將其變?yōu)榫哂懈叻磻院湍芰康牡入x子體以防止它發(fā)生。半導體器件表面的有機污染。揮發(fā)性物質與細小顆粒反應生成揮發(fā)性物質,通過真空泵抽出,達到清洗、活化、蝕刻等目的。。

增加親水性的基團

與現(xiàn)有的光電器件相比,紫外臭氧清洗機增加親水性GAN光電器件表現(xiàn)出寬禁帶、高飽和電子漂移率、高熱導率、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性等一系列優(yōu)異的物理化學性能,成為當前高新技術領域。雖然 ALGAN/GANHEMT 組件的性能整體有所提升,但在真正商業(yè)化并用于電子設備之前,仍有許多問題需要解決。該器件具有一個導通電流。他們。等離子發(fā)生器的等離子處理是一種簡單方便的柵極表面處理方法,用于降低元件的閾值工作電壓,增加元件的導通電流。

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