深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
等離子去膠機 10L
等離子去膠機 10L

等離子去膠機 10L

  • 產品型號 JL-VMS10
  • 產品類別 等離子去膠機
  • 應用范圍

    對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

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對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。


型   號

JL-VMS10

等離子源系統(tǒng)

頻   率

13.65MHz  射頻

功   率

500W （連續(xù)可調，精度為1W）

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質

石英

腔體內部尺寸

D250*250mm（直徑*深度)

腔體容積

10 L

密封性

軍工級焊接密封

泵

真空泵

油泵/干泵

處理溫度

＜60°C

流量計

0-500ml/min

氣路控制

2路處理氣體氣路，氣體流量可調

真空度

10Pa --100Pa

工藝氣體

Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選）

外觀參數

外形尺寸

720*530*450mm（寬*深*高）

重      量

55kg

設施配置

電      力

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定。


等離子去膠機 10L應用

1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。

3、進口針閥精密流量控制計，精度高。

4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環(huán)保不產生金屬污染。

5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。


1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。

3、進口針閥精密流量控制計，精度高。

4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環(huán)保不產生金屬污染。

5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。



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