深圳市金徠技術(shù)有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
型 號 | JL-VM05 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.65MHz 射頻 | |
功 率 | 300W （連續(xù)可調(diào)，精度為1W） | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 石英 |
腔體內(nèi)部尺寸 | φ155*260mm（直徑*深度) | ||
腔體容積 | 5 L | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
處理溫度 | ＜60°C | ||
流量計 | 浮子流量計 | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
真空度 | 10Pa --100Pa | ||
工藝氣體 | Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選） | ||
外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 650*480*420mm（寬*深*高） | |
重 量 | 55kg | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標標準相關(guān)規(guī)定。 | |
1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據(jù)客戶需求定制。
1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據(jù)客戶需求定制。
