真空等離子清洗機(jī) 30L

產(chǎn)品型號(hào) JL-VM30
產(chǎn)品類別 真空等離子清洗機(jī)
應(yīng)用范圍
對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進(jìn)行清洗，活化改性，去有機(jī)物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強(qiáng)粘接性，附著力，分子活性。

對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進(jìn)行清洗，活化改性，去有機(jī)物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強(qiáng)粘接性，附著力，分子活性。

型號(hào)	JL-VM30
等離子源系統(tǒng)	頻率		13.56MHz 射頻	40KHz 中頻
	功率		0~300W可調(diào)	0-2000W可調(diào)
			選配
真空系統(tǒng)	真空腔體	材質(zhì)	316L不銹鋼、航空鋁（選配）
		腔體內(nèi)部尺寸(MM)	400300300（寬高深)
		腔體容積	30L
		極板	8層，水平式，活動(dòng)可調(diào)節(jié)
		密封性	軍工級(jí)焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計(jì)		1×105~1×10-1Pa
	質(zhì)量流量計(jì)		＜±1% FS
	氣路控制		2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
	極限真空		5Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調(diào)）
	工藝氣體		Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統(tǒng)	1、PLC 自動(dòng)控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
	3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99；
	4、多級(jí)權(quán)限操作；
	5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；
	6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；
	7、報(bào)警信息提示及追溯；
	8、圖形化界面檢測處理參數(shù)；
	9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
	10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
	11、門感應(yīng)器和真空互鎖；
	12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；
	13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；
外觀參數(shù)	外形尺寸(MM)		6401700750(寬高深）
	重量		280KG
設(shè)施配置	電力		五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA
	其它		提供操作手冊、維護(hù)手冊、安裝手冊，易損件備件清單.